Microscope électronique à balayage

Contact :               Thierry AIGOUY (Technicien, CNRS)

Microscope électronique à balayage Jeol JSM 6360LV

Microscope électronique à balayage Jeol JSM 6360LV

Le laboratoire est équipé depuis 2004 d'un microscope électronique à balayage (MEB), Jeol JSM 6360LV (vide partiel), couplé à un système d'analyse EDS de nouvelle génération, un « Silicon Drift Detector » (SDD) PGT Sahara. Cet équipement fonctionne en Service Commun de l' OMP.

Les observations peuvent être faites en mode « MEB conventionnel » où l'échantillon est soumis à un vide poussé, ou en mode « low-vacuum » qui permet de travailler sous azote ou air avec un vide plus faible. Ceci rend possible l'observation d'échantillons sans aucune préparation préalable (comme la métallisation) en particulier pour les végétaux ou les gemmes qui sont ainsi préservés.

Le détecteur EDS travaille sans azote liquide. Il permet l'analyse chimique (ponctuelle ou cartes de répartition) non destructive des échantillons au cours de l'observation. Le taux de comptage peut être très élevé par rapport à un système plus classique refroidi à l'azote liquide et permet la réalisation de carte de répartition des éléments chimiques en quelques minutes.

Exemples d’utilisation du MEB-EDS :

  • imagerie en paléontologie ;
  • répartition des phases minérales à l’aide d’une mosaïque d’images en électrons rétrodiffusés ;
  • analyse semi-quantitative de minéraux dans une roche ;
  • analyse automatique de poussières contenant des métaux lourds sur filtre.
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